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        產(chǎn)品展示為客戶(hù)提供有競爭力、安全可信賴(lài)的產(chǎn)品、解決方案和服務(wù)

        1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)

        CVD-TF14P40/50/60/80 CVD-TF14T40/50/60/80
        此CVD系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實(shí)驗。 優(yōu)點(diǎn) 爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節能50%以上
        自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術(shù)保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
        自動(dòng)斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性…… 安全性 過(guò)升報警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復電延時(shí)。
        采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全。
        ……
        ■ 產(chǎn)品特點(diǎn)

        提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗環(huán)境

        此款CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實(shí)驗。

        產(chǎn)品性能:

        1、爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節能50%以上

        2、空氣導流隔熱技術(shù)保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

        3、啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機同時(shí)自動(dòng)運行,試驗結束后,排溫風(fēng)機將繼續運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機自行停止,有效保護了爐體表面

        4、自動(dòng)斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性

        5、電路采用連續加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線(xiàn)提高了系統的穩定性

        6、加熱模塊采用直流信號調節輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾

        7、自動(dòng)補償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來(lái)的控溫影響,避免人為調節的不準確性和危險性

        8、采用數顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數據并控制流量。重復性好,相應速度快,穩定等特點(diǎn)。(氣體質(zhì)量流量控制系統)

        9、自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能,自動(dòng)控制模式能通過(guò)設定值自動(dòng)開(kāi)啟/關(guān)閉真空泵,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動(dòng)控制模式使用用戶(hù)通過(guò)真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿(mǎn)足不同實(shí)驗的需要。(中真空控制系統)

        10電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù),使電磁閥在真空泵開(kāi)啟10秒鐘后打開(kāi),使爐管內系統壓力保持準確,也保證了廢氣不會(huì )返回到爐管系統影響實(shí)驗效果(中真空控制系統)

        安全性:

        1、過(guò)升報警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復電延時(shí)。

        2、采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全。

        3、采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會(huì )泄露。


        ■ 技術(shù)參數
        型號單溫區CVD-TF14P40CVD-TF14P50CVD-TF14P60CVD-TF14P80

        單溫區CVD-TF14T40CVD-TF14T50CVD-TF14T60CVD-TF14T80
        性能使用溫度范圍300~1400
        溫度分辨率1℃
        控溫± 1
        升溫速率0~20℃/min
        加熱區長(cháng)度200mm400mm
        恒溫區長(cháng)度70mm140mm
        真空度-0.1MPa
        空爐升溫時(shí)間15min

        配置爐管時(shí)升溫速度500℃以下≤5/min;500-100010/min;1000-12005/min;1000-14002/min
        構成外裝冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
        爐膛體多晶莫來(lái)石纖維
        爐膛尺寸360*350*350mm560*350*350mm
        爐管剛玉管
        爐管尺寸Φ40/34*1000Φ50/44*1000Φ60/50*1000Φ80/70*1000
        加熱器硅碳棒
        加熱功率3KW5KW
        斷熱層雙層強制風(fēng)導流
        打開(kāi)方式無(wú)
        控制 器控制器P:進(jìn)口程序控溫數碼顯示;   T:7寸彩色觸摸屏程序控溫
        控制方式使用微型電腦PID控制
        設定方式P:輕觸五按鍵動(dòng)作、數顯設定;   T:手指觸摸輕點(diǎn)設定
        顯示方式P:雙行LED數字顯示;   T:彩色液晶屏顯示
        定時(shí)0~999.9小時(shí)
        運行功能定值運行、程序運行
        程序模式P:程序運行、4條曲線(xiàn)、共40步;    T:50步 可調用儲存程序
        傳感器S型熱電偶
        附屬功能P:校正功能;     T:校正功能、實(shí)時(shí)曲線(xiàn)記錄、U盤(pán)數據導出
        安全裝置過(guò)流漏電保護開(kāi)關(guān)
        質(zhì)量流量控制系統氣路數量3路(可根據具體需要選配氣路數量)
        流量范圍0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準
        精度±1%F.S
        響應時(shí)間≤4s
        工作溫度(流量計)5-45
        工作壓力進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
        系統連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數顯真空測量?jì)x
        中真空控制系統系統真空范圍10-100Pa
        真空泵雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過(guò)濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw
        CVD系統配置1400度真空管式爐       多路質(zhì)量流量控制系統        真空系統


        上一個(gè):1200℃開(kāi)啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)下一個(gè):1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)
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