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        022-68673666
        產(chǎn)品展示為客戶(hù)提供有競爭力、安全可信賴(lài)的產(chǎn)品、解決方案和服務(wù)

        1200℃開(kāi)啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)

        CVD-TF12P50/60/80/100? ?CVD-TF12T50/60/80/100? ?CVD-TF12P50/60/80/100S? ?CVD-TF12T50/60/80/100S
        此款CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實(shí)驗。 優(yōu)點(diǎn) 爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節能50%以上
        自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術(shù)保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
        …… 安全性 過(guò)升報警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復電延時(shí)
        采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內控制,保證安全
        ■ 產(chǎn)品特點(diǎn)

        提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗環(huán)境,應用在半導體、納米技術(shù)、碳纖維等領(lǐng)域

        使用溫度范圍? ?300~1200℃? ? ? ? ? ? ? 溫度控制 ? ?±1℃? ? ? ? ??管徑φ50φ60φ80φ100

        ■產(chǎn)品特點(diǎn):

        爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節能50%以上

        自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術(shù)保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

        啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機同時(shí)自動(dòng)運行,試驗結束后,排溫風(fēng)機將繼續運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機自行停止,有效保護了爐體表面

        爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性

        電路采用連續加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線(xiàn)提高了系統的穩定性

        加熱模塊采用直流信號調節輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾

        操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀(guān)

        上下?tīng)t體采用航空插頭連接方式,連接安全方便

        氣路總成采用食品級316不銹鋼制成,具有耐蝕性,耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好,無(wú)磁性

        采用數顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數據并控制流量。重復性好,相應速度快,穩定等特點(diǎn)。(氣體質(zhì)量流量控制系統)

        自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能,自動(dòng)控制模式能通過(guò)設定值自動(dòng)開(kāi)啟/關(guān)閉真空泵,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動(dòng)控制模式使用用戶(hù)通過(guò)真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿(mǎn)足不同實(shí)驗的需要。(中真空控制系統)

        電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù),使電磁閥在真空泵開(kāi)啟10秒鐘后打開(kāi),使爐管內系統壓力保持準確,也保證了廢氣不會(huì )返回到爐管系統影響實(shí)驗效果(中真空控制系統)


        ■安全性:

        過(guò)升報警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復電延時(shí)。

        采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內控制,保證安全。

        采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會(huì )泄露。


        ■ 技術(shù)參數

        1200cvd-TF參數.jpg

        上一個(gè):氣體流量控制系統(ZLXT、ZKXT、FZXT)下一個(gè):1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)
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