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        產(chǎn)品展示為客戶(hù)提供有競爭力、安全可信賴(lài)的產(chǎn)品、解決方案和服務(wù)

        1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)

        CVD-TF16P50/60/80/100? ?CVD-TF16T50/60/80/100? ?CVD-TF16P60/80/100S? ?CVD-TF16T60/80/100S
        1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF),提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗環(huán)境,應用在半導體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域,此款CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實(shí)驗。 優(yōu)點(diǎn) 爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節能50%以上
        自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術(shù)保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
        啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機同時(shí)自動(dòng)運行,試驗結束后,排溫風(fēng)機將繼續運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機自行停止,有效保護了爐體表面
        爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性 安全性 過(guò)升報警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復電延時(shí)。
        采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全。
        采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會(huì )泄露。
        ■ 產(chǎn)品特點(diǎn)

        提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗環(huán)境,應用在半導體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域

        此款CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實(shí)驗。

        爐膛采用多晶莫來(lái)纖維真空吸附制成,溫場(chǎng)均勻節能50%以上

        自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術(shù)保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

        啟動(dòng)電爐,排溫風(fēng)機同時(shí)自動(dòng)運行,試驗結束后,排溫風(fēng)機將繼續運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風(fēng)機自行停止,有效保護了爐體表面

        爐門(mén)開(kāi)啟自動(dòng)斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性

        電路采用連續加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線(xiàn)提高了系統的穩定性

        加熱模塊采用直流信號調節輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾

        操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀(guān)

        上下?tīng)t體采用航空插頭連接方式,連接安全方便

        氣路總成采用食品級316不銹鋼制成,具有耐蝕性,耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好,無(wú)磁性

        采用數顯流量顯示儀,配合質(zhì)量流量控制器,采集數據并控制流量。重復性好,相應速度快,穩定等特點(diǎn)。(氣體質(zhì)量流量控制系統)

        自動(dòng)控制與手動(dòng)控制切換功能,自動(dòng)控制模式能通過(guò)設定值自動(dòng)開(kāi)啟/關(guān)閉真空泵,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動(dòng)控制模式使用用戶(hù)通過(guò)真空泵開(kāi)啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿(mǎn)足不同實(shí)驗的需要。(中真空控制系統)

        電磁閥緩啟動(dòng)技術(shù),使電磁閥在真空泵開(kāi)啟10秒鐘后打開(kāi),使爐管內系統壓力保持準確,也保證了廢氣不會(huì )返回到爐管系統影響實(shí)驗效果(中真空控制系統)

        ■安全性:

        過(guò)升報警、菜單鎖定、過(guò)升防止、復電延時(shí)。

        采用單向閥技術(shù),使氣體流量在可控壓力范圍內控制,保證安全。

        采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會(huì )泄露。


        ■ 技術(shù)參數
        溫區單溫區雙溫區
         型號 CVD-TF16P50 CVD-TF16P60CVD-TF16P80 CVD-TF16P100 CVD-TF16P60SCVD-TF16P80SCVD-TF16P100S
        CVD-TF16T50CVD-TF16T60CVD-TF16T80CVD-TF16T100CVD-TF16P60SCVD-TF16T80SCVD-TF16T100S
        性能 使用溫度范圍 300~1600
        溫度分辨率 1
        控溫 ± 1
         升溫速率 0~20/min
         加熱區長(cháng)度260mm  600mm
        恒溫區長(cháng)度120mm300mm
        真空度-0.1MPa
        空爐升溫時(shí)間15min
          構成 外裝 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝
        爐膛體 多晶莫來(lái)石纖維
        爐膛尺寸  440*390*330 780*390*330
         爐管剛玉管       
         爐管尺寸 φ50*1000φ60*1000φ80*1000φ100*1000φ60*1200φ80*1200φ100*1200
        加熱器 硅鉬棒
        加熱功率 4KW 4KW 10KW10KW
        斷熱層雙層強制風(fēng)導流
          控制  控制器  P:進(jìn)口程序控溫數碼顯示;   T7寸彩色觸摸屏程序控溫
         控制方式 使用微型電腦PID控制 / S型雙溫區單獨控溫
         設定方式  P:輕觸五按鍵動(dòng)作、數顯設定;   T:手指觸摸輕點(diǎn)設定
         顯示方式 P:雙行LED數字顯示;   T:彩色液晶屏顯示
         定時(shí) 0~999.9小時(shí)
         運行功能  定值運行、程序運行
         程序模式  P:程序運行、4條曲線(xiàn)、共40步;    T50 可調用儲存程序
         傳感器  S型熱電偶
        附屬功能P:校正功能;     T:校正功能、實(shí)時(shí)曲線(xiàn)記錄、U盤(pán)數據導出
        安全裝置過(guò)流漏電保護開(kāi)關(guān)過(guò)流保護開(kāi)關(guān)
        質(zhì)量流量控制系統氣路數量3路(可根據具體需要選配氣路數量)
        流量范圍0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準
        精度±1%F.S
        響應時(shí)間≤4s
        工作溫度(流量計)5-45
        工作壓力進(jìn)氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力)
        系統連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數顯真空測量?jì)x
        中真空系統真空范圍10-100Pa
        控制系統真空泵雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過(guò)濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw

        CVD系統配置1600度真空管式爐(可選配單溫區、雙溫區)       多路質(zhì)量流量控制系統        真空系統


        上一個(gè):1400℃真空/氣氛管式爐CVD系統(CVD-TF)
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